超緊湊線性平移臺（亞微米）

AU- M3-LS精密壓電線性微動臺是集動力系統、反饋系統和控制系統于一身的微機械系統。在緊湊的空間中（29 x 20 x 10 mm）包含一個世界上zui小的壓電馬達和IC驅動、非接觸式磁感應陣列位置傳感器和PID控制器。

超緊湊線性平移臺（亞微米）

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①  AU-M3-LS采用SQL-RV-1.8微型壓降直線微電機系統。該動力系統主要包括目前世界上zui小的壓電SQL-RV-1.8壓降直線微電機（2.8 x 2.8 x 6 mm）和業界內zui小的壓電馬達NSD-2101驅動IC（1.8 x 1.8 mm）。集成到定制模塊上可以提供之前難以想象的運動性能。該直線微電機馬達擁有較小的體積但可以提供更大的功率和穩定性。分辨率為0.5mm，精度是電磁馬達的十倍。該馬達沒有齒輪和凸輪，直接提供直線移動的動力，并采用自鎖設計，只有移動的時候才會耗電。因此比同等電磁馬達的功耗降低40%。NSD-2101驅動是把輸入的直流電轉換為高頻交流電來控制馬達。并且可以通過I2C串行接口接受來自系統的指令。

②  AU-M3-LS超小型線性微動臺為閉環的運動系統。采用NSE-5310位置傳感器，分辨率可達到0.5mm。該傳感器芯片上集成數字編碼器的磁傳感器陣列，將磁性正弦波轉換為數字直接輸出。芯片上編碼使用標準I2C協議提供直接數字輸出，無需外部脈沖計數器。高效的控制系統通信在單個I2C總線上zui多允許兩個位置傳感器。另外該傳感器對外部環境不敏感，可適用于光照、沖擊、振動等條件。

③ AU-M3-LS超緊湊型線性微動臺不需要外部控制器。該模塊將PID控制器集成到電路板上，只需要通過標準的I2C 或者SPI接口輸入簡單的串行命令就可以驅動該控制器?？梢酝ㄟ^USB連接電腦，直接通過軟件控制該微動臺的運動。操作簡單使用方便。

此外該微動臺多個可組合成多軸運動的微動臺。兩個可以組合成X-Y軸運動的平臺，三個可組合成X-Y-Z的多軸微動臺。

u  產品主要特點

• 超小體積 （29 x 20 x 10 mm）

• 無需外加控制器

• 大行程（6mm）

• 高分辨率（0.5mm）

• 堅固性優

• 高重復性

• 低功耗 （工作時<o.7W）

• 可組成多軸微動臺

• 可直接從USB適配運行

u  主要應用

手持和便攜設備、便攜式醫療設備、微型顯微鏡、光譜學、微器件裝配、生物醫學探測和抽樣、高分辨率調諧系統、無人機/地面車輛控制和光學、微型相機系統等。

u  主要參數